(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 1.8(22)申请日 2023.03.27(73)专利权人 姑苏晶洲配备科技有限公司地址 215555 江苏省姑苏市常熟市辛庄镇新阳大路136号(72)发明人 曹煜霜蒋新刘苏凯沈洪旗施利君王涛(74)专利署理组织 北京品源专利署理有限公司 11332专利署理师 贾爱存(51)Int.Cl.H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/677 (2006.01)H01L 31/18 (2006.01) (54)实用新型称号刻蚀带液滚轮设备及传输体系(57)摘要本实用新型归于刻蚀设备技术领域，公开了刻蚀带液滚轮设备及传输体系。刻蚀带...
(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 1.8(22)申请日 2023.03.27(73)专利权人 姑苏晶洲配备科技有限公司地址 215555 江苏省姑苏市常熟市辛庄镇新阳大路136号(72)发明人 曹煜霜蒋新刘苏凯沈洪旗施利君王涛(74)专利署理组织 北京品源专利署理有限公司 11332专利署理师 贾爱存(51)Int.Cl.H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/677 (2006.01)H01L 31/18 (2006.01) (54)实用新型称号刻蚀带液滚轮设备及传输体系(57)摘要本实用新型归于刻蚀设备技术领域，公开了刻蚀带液滚轮设备及传输体系。刻蚀带液滚轮设备包括榜首滚轮、两个设备块和两个陶瓷轴承，榜首滚轮的两端别离翻滚设置于两个设备块，一个陶瓷轴承对应设置于一个设备块内，榜首滚轮经过陶瓷轴承翻滚衔接于设备块。经过设置陶瓷轴承，使榜首滚轮与设备块之间由传统的直接翻滚冲突转为轴承支撑翻滚的方法，极大地降低了榜首滚轮与设备块之间的磨损，使榜首滚轮可以以较高的转速运转，来提高对待刻蚀硅片的传输速度。一起，提高了刻蚀带液滚轮设备的惯例运用的寿数。并且，经过运用陶瓷轴承，处理了刻蚀带液滚轮设备工作中浸于药液，没办法运用一般金属制轴承的问题。权利要求书1页 说明书4页 附图2页CN 219267614 U2023.06.27CN 219267614 U
